伺服系统

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编码器

力矩电机

• 盘式力矩电机

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• 无框力矩电机

直线电机

• 有铁芯平板型Y系列

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音圈电机

• CCV系列

• CCV系列–柔振专用

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标准型材模组

• STH系列内嵌模组

• STM系列标准模组

大理石平台

• 纳米级气浮精密运动平台

• 堆叠精密运动平台

• 龙门精密运动平台

运动平台

• 微型精密对位平台

• 音圈电机微型运动平台

• ZLR双自由度组件